ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
от 0 руб.
Есть в наличии
Рассчитать доставку
Информация о документе
Номер
ГОСТ Р 8.628-2007
Название
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Статус
ДЕЙСТВУЕТ
Количество страниц
11
Подробная информация
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
Описание
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формами линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10–9 до 10–6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.Информация о документе
|
Номер
|
ГОСТ Р 8.628-2007 |
|
Название
|
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
|
Статус
|
ДЕЙСТВУЕТ |
|
Количество страниц
|
11 |
|
Действует с
|
01.02.2008 |
|
КГС
|
Т88 |
|
ОКС
|
17.040.01 |
|
Изменения
|
ИУС 2/2011 |
|
Ведомство
|
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РФ |
|
Аннотация
|
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формами линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10–9 до 10–6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов. |
|
Артикул
|
42435 |