ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
от 0 руб.
Есть в наличии
Рассчитать доставку
Информация о документе
Номер
ГОСТ Р 8.659-2009
Название
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Статус
ДЕЙСТВУЕТ
Количество страниц
16
Подробная информация
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
Описание
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.Информация о документе
|
Номер
|
ГОСТ Р 8.659-2009 |
|
Название
|
Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки |
|
Статус
|
ДЕЙСТВУЕТ |
|
Количество страниц
|
16 |
|
Действует с
|
01.01.2011 |
|
КГС
|
Т84.10 |
|
ОКС
|
17.020 |
|
Ведомство
|
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РФ |
|
Аннотация
|
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок. |
|
Артикул
|
49977 |